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PECVD是什么意思

  • 英文缩写】 PECVD
  • 英文全称】 plasma enhanced chemical vapor deposition 📢
  • 缩写分类电子电工
  • 中文意思】 等离子体增强化学气相沉积
  • 详细解释】 一种常用的表面修饰方法。广泛应用于微电子加工的集成电路制造工艺中。

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