PECVD缩写的意思
关键词:
PECVD是什么意思
【
英文缩写
】 PECVD
【
英文全称
】 plasma enhanced chemical vapor deposition
📢
【
缩写分类
】
电子电工
【
中文意思
】 等离子体增强化学气相沉积
【
详细解释
】 一种常用的表面修饰方法。广泛应用于微电子加工的集成电路制造工艺中。
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